合景净化工程公司：集成电路制造中无尘车间的重要性，你知道吗

来源：合景净化工程公司

在现代高科技产业中，集成电路(IC)作为半导体工业的核心产品，其制造过程对环境的严苛要求不言而喻。本文将深入探讨半导体无尘车间在集成电路制造中的多重作用。

半导体工业对制造环境的洁净度要求极高，微小的颗粒、灰尘或其他污染物都可能严重影响半导体器件的性能和可靠性。无尘车间能够去除空气中漂浮的微尘粒子和细菌等污染物，有效防止这些污染物对集成电路制造过程的干扰，提升产品的纯净度和可靠性。

无尘车间通过精确控制湿度和温度参数，创造出稳定的工作环境。对于半导体制造过程中的化学反应、材料性质以及设备运行状态都至关重要，有助于减少氧化反应，提高工艺控制的稳定性。静电消除技术能够有效降低静电对半导体器件和材料的影响，避免因静电导致的器件损坏或性能下降。

无尘车间通过减少颗粒和污染物的存在，避免外界因素对工艺参数的干扰，实现更精细、更一致的生产过程。在无尘车间中，减少次品率可以降低产品修复和重工的需求，提高生产效率和资源利用率。洁净的工作环境还有助于延长设备寿命，减少停机时间和维修成本。

许多行业都对生产环境有严格的净化要求，特别是电子芯片半导体行业。无尘车间的建设和使用能够确保企业符合相关行业标准。具备先进无尘车间的企业往往能够展示其在技术、管理和质量控制方面的实力，提升企业的市场形象和竞争力。

随着半导体工业的不断发展，无尘车间技术也在不断创新和完善，为集成电路制造提供更加先进、智能和可持续的解决方案。

三安半导体项目芯片厂房封顶 可达“百级”洁净度

科技日报讯 （记者俞慧友 通讯员褚兴科王丽）投资160亿元、占地面积1000亩的湖南省首个第三代半导体产业园及国内首条碳化硅研发生产全产业链生产线，有了新进展。1月19日，记者从长沙高新区获悉，三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房封顶，占地23206平方米、建筑面积52326平方米、钢构大屋面面积16500平方米。

建设方中建五局三公司介绍,该项目主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设。项目全面建成投产后，将形成碳化硅研发和生产全产业链两条生产线，生产可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线（5G）通讯等的高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件。全部建成后预计可实现年产值120亿元以上，并可带动上下游配套产业产值预计超1000亿元。

“项目主要服务于技术密集型的半导体产业。半导体生产对空气洁净度有高要求。此次建设的芯片厂房达‘百级’洁净度。”中建五局三公司项目负责人周祥说。

所谓“百级”洁净，即每立方英尺空气中粒径大于等于0.5微米的粒子数量不超过100个，堪比最高洁净等级手术室标准。项目技术负责人陆建臻表示，为保证“百级”洁净，芯片厂房采用华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）高精度施工，并建立洁净空调通风系统形成回风通道。芯片厂房华夫板厚度70厘米，可抗微震；华夫板面积达1410平方米，其中浇筑有35000个直径35厘米的奇氏筒，相当于每2平方米就有5个用于换气的圆形孔洞。届时，芯片产线布置于华夫板上，整车间利用新风系统进气保证正压，并通过华夫板回风通道排气，最终保证车间洁净度。

来源： 科技日报

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