敏芯股份申请集成的惯性传感器芯片及其制作方法专利，实现低成本的将加速度计传感器芯片与陀螺仪传感器芯片集成在一起

金融界2023年12月20日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“集成的惯性传感器芯片及其制作方法“，公开号CN117246975A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供了一种集成的惯性传感器芯片及其制作方法，旨在通过在氧化硅片上形成第一空腔和第二空腔，并在氧化硅片上形成在厚度方向上贯穿其的第一通孔，并且形成的第一通孔在邻近其第一表面具有较大的第一开口，在位于其第二表面上具有相对较小的第二开口；将氧化硅片的第一表面与衬底基板的具有第一器件结构和第二器件结构的一侧表面相键合，并在氧化硅片的背离衬底基板的一侧制作覆盖氧化硅片的氧化硅层，以封闭第一通孔。从而不仅有利于氧化硅片与衬底基板键合的过程中的应力释放，而且也便于对第一通孔进行密封。通过上述晶圆级的封装，实现了低成本的将加速度计传感器芯片与陀螺仪传感器芯片集成在一起。

本文源自金融界

2023年中国加速度计行业现状及趋势分析：产品趋向小型化、高精度

内容概况： 国内加速度计行业在中低端市场，产品基本可以满足国内市场需求，高端产品对外依赖较大。据统计，2022年中国加速度计行业产需量分别为21.11、18.80亿个，分别同比增长0.42%、-0.21%。随着原材料及人力成本的上升，国内加速度计行业市场价格整体呈现上涨态势，从2015年的2.34元/个增长至2022年的3.49元/个。

关键词：加速度计、加速度传感器、MEMS加速度计、MEMS传感器

一、加速度计综述

加速度计是指测量载体线加速度的传感器，可以感知和测量载体的线运动状态和变化。加速度计是一种能够测量物体线加速度的器件, 已经广泛应用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。加速度计种类较多：可以按检测质量的位移将其分为线性加速度计和摆式加速度计，按支承方式将其分为宝石支承、挠性支承、气浮、液浮、磁悬浮和静电悬浮等。通常综合几种不同分类法的特点来命名一种加速度计，目前市场比较成熟的加速度计包括液浮摆式加速度计、挠性摆式加速度计、石英振梁加速度计和MEMS加速度计等。

二、加速度计产业链

从产业链来看，加速度计产业链上游主要包括原材料制造商和组件制造商，原材料有硅、金属材料、电子元件等，组件包括微电子元件、传感器芯片以及其他组件。产业链下游加速度计主要应用于智能手机、汽车稳定性系统、工业控制设备等领域。

具体从下游来看，加速度传感器目前已经被大量用在消费电子、汽车、工业、医疗等其他各个领域里，并且由于人工智能与物联网技术的发展，加速度传感器的应用场景会更加多元化。据统计，2022年中国加速度计在消费电子领域需求占比为34.7%，航空航天、无人机领域需求占比为24.0%，汽车及其他领域需求占比41.3%。

三、加速度计行业现状分析

加速度计是惯性导航、惯性制导等系统中的关键惯性敏感元器件，也是各种工业设备、航空航天器中的机械故障和安全检测的常用敏感器件，已广泛应用于航空航天、汽车、消费电子、工业自动化及机器人等领域。近年来加速度计全球市场规模快速提升，据统计，2022年全球加速度计行业市场规模达到17.57亿美元，同比增长7.4%，其中亚太地区市场占比达到70.2%。

注： 本文节选出自智研咨询 发布的《2023年中国加速度计行业现状及趋势分析：产品趋向小型化、高精度[图] 》行业分析文章，如需获取行业文章全部内容，可进入智研咨询官网 搜索查看。

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